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汉钟PS系列干式螺杆真空泵

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  • 所属系列:电子 - 电子
  • 规格型号:
  • 最小起订量:1
  • 所 在 地:广东 - 深圳市
  • 发货期限:3
发布日期:2015年7月10日    深圳市信仕德科技有限公司
产品介绍

汉钟PS系列螺杆真空泵特点:

1 排气路径短,减少反应物沉积

2线性密封性佳,泵性能最优

3结构简单,故障率低,维修容易

4电机水冷设计,通过防爆认证,安全百分比

5 微电脑操作,远端监控,保护周全


上海汉钟干式真空泵 PS系列 
包括机型  汉钟真空泵PS80 ,汉钟真空泵PS160,汉钟真空泵 PS180,汉钟真空泵 PS602,汉钟真空泵 PS902,汉钟真空泵 PS1302,汉钟真空泵 PS1802
 
台湾汉钟真空泵PS系列产品特点
螺旋真空泵浦产品特色
  汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果,终极压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。

泵浦温度控制精准 
  汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦,承袭上一代真空泵浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更精准地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加真空泵浦的寿命。 

密封马达安全性高
  PS系列真空泵浦亦全面采用专利设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可完全避免制程气体外漏的风险。

微电脑控制保护周全 
  PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保护,十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业。

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