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汉钟真空泵

浏览次数: 7
  • 所属系列:电子 - 电子
  • 规格型号:
  • 最小起订量:1
  • 所 在 地:广东 - 深圳市
  • 发货期限:7
发布日期:2015年6月9日    深圳市信仕德科技有限公司
产品介绍

汉钟干式真空泵
包括台湾汉钟干式螺杆式真空泵和台湾汉钟干式多级罗茨真空泵
PDR系列
包括机型 汉钟真空泵 PDR100 , 汉钟真空泵 PDR602, 汉钟 真空泵 PDR1202
上海汉钟干式真空泵 PS系列 
包括机型  汉钟真空泵PS80 ,汉钟真空泵PS160,汉钟真空泵 PS180,汉钟真空泵 PS602,汉钟真空泵 PS1302
 
台湾汉钟真空泵PS系列产品特点
螺旋真空泵浦产品特色
  汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果,终极压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。

泵浦温度控制精准 
  汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦,承袭上一代真空泵浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更精准地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加真空泵浦的寿命。 

密封马达安全性高
  PS系列真空泵浦亦全面采用专利设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可完全避免制程气体外漏的风险。

微电脑控制保护周全 
  PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保护,十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业。

PZt系列双级旋片泵
世界先进的技术
1.两档可调气镇,更方便不同工艺对蒸汽排出量的要求。
2.强制润滑,内置齿轮泵及恒压供油机构强制供油,高吸气压强下也能提高稳定可靠运行。
3.双重防返没油结构,自动防返油结构设计,更可靠地保护您的真空系统在停机后免受油的污染。
4.整体式泵体,零部件量少,重复性好,便于维修及保养。

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